閩旋科技產品推介‖單晶爐用冷卻水旋轉接頭 |
發布日期: 2023-08-01 瀏覽次數: 957 新聞編輯: |
半導體材料是半導體工業的基礎材料,其中硅作為半導體材料中用量最大和用途最廣的材料。在半導體芯片中,單晶硅材料占據了整個芯片體積的約99%,其生產技術和產量體現了一個國家在半導體行業中的發展水平。同時隨著光伏行業的迅猛發展,單晶硅又被用來制作太陽能電池,逐漸取代多晶硅的行業占比。以此,市場對單晶硅的品質和長晶裝備穩定性的要求也越來越高。
單晶爐作為一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,然后用直拉法生長無錯位單晶的專用冶煉設備,是目前人工單晶硅生長設備中很重要的產品系列。其結構如上圖所示,主要由主機(包括爐體、籽晶旋轉提升機構、坩堝軸驅動機構)以及抽氣系統、充氣系統、液壓系統、水冷系統、加熱電路電源、磁場控制裝置等組成。
單晶直徑生長過程中的質量,與溫度、提拉速度和轉速,坩堝跟蹤速度和轉速,保護氣體的流速等因素密切相關。其中,坩堝軸驅動部件作為單晶爐設備的核心部件之一,要求各種精度都比較高。而冷卻水旋轉接頭作為坩堝軸驅動機構模塊的重要零部件裝置,安裝于坩堝軸的下部,主要起到冷卻以及旋轉密封的作用,實現固定管道的冷卻水輸送及熱交換后的熱水排出。同時在設備運轉過程中,若旋轉接頭阻力大,則極易影響坩堝軸偏心振動,從而降低單晶硅的生產質量??梢哉f,旋轉接頭的品質高低也成為了單晶爐生產單晶硅品質高低不可忽視的關鍵。
我公司閩旋科技作為資深旋轉接頭專業制造廠家,系國內專注于機械密封與基礎配套領域技術領先的高新技術企業,一直堅持技術創新,針對單晶爐品質需求的不斷提升,結合其行業發展態勢,對單晶爐用冷卻水旋轉接頭進行全面優化與升級,研制出了系列適用產品,具體如下:
以上系列單晶爐用冷卻水旋轉頭的提升不止是阻力優化,更是產品綜合性能的全面提升。通過技術和工藝的提升,實現產品“更安全、更可靠、更高效、更環?!?/span>全面升級,使用效果媲美國外進口產品,不僅僅在單晶爐行業中,同時在其他相關領域的實際應用中均取得了很好的效果,為客戶帶來更加安全可靠的使用體驗,并創造了更大經濟效益。
每一次創新都是一種突破,每一次變革都是一種責任。“以專業奏響中國旋轉密封品牌強音”是閩旋科技不可忘卻的使命,“做強旋轉密封技術,助力產業高質發展,發揚中國制造品牌”是我們肩負的目標與責任,閩旋科技將持續與國家戰略、行業發展、社會需求同頻共振,以創新為驅動、以科技為支撐,用高品質的產品和服務,與廣大合作伙伴勠力同心、共享共贏,共創更加美好未來。
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